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大型仪器设备——探针台

作者: UJN_IAIR   来源: 7321com必赢7321com必赢    发布时间: 2017-12-04

仪器设备名称:

探针台

图片:

 

仪器型号:

EPS150TRIAX

仪器厂商(国别):

美国Cascade

仪器原值:

40.5万元

购置日期:

2017.9

仪器主要附件:

显微镜含CCD系统一套,15-120倍率光学放大倍率

载片台一套

探针座放置台一套

直流探针座4

42米直流电缆,铜轴接口,25/1盒的探针, 针尖直径为7μm

机组所在部门

联系电话:

7321com必赢

0531-82767046

仪器现状:

正常

开放机时安排:

提前预约

主要技术指标:

1)   6英寸直径的载片台,可独立拉出90mm;

2)   三轴结构低漏电流载物台,Z轴高度调整范围不小于10mm;   XY方向控制器为一体式,可实现单手操作。

3)   有两个独立小载物台,载物台移动精度分辨率≤5μm,平坦度≤5μm,旋转角度为+/-8°

4)显微镜系统放大倍率不小于120倍,提供影像输出系统

5)芯片为真空孔吸附的方式,并非环状;

6)探针座X/Y/Z方向移动范围:12.5 mm / 12.5 mm / 12.5 mm;针座可实现100TPI的高精度定位测试;

7)探针臂为三轴结构,电缆为三轴结构

8)平台提升移动范围不小于40mm,精度为1um

应用范围/服务内容:

半导体器件的加工与性能测试

服务技术领域:

纳米材料,微纳器件 FET器件的测试

 

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