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大型仪器设备——有机真空镀膜仪

作者: UJN_IAIR   来源: 7321com必赢7321com必赢    发布时间: 2017-12-04

仪器设备名称:

有机真空镀膜仪

图片:

 

仪器型号:

AENexdep

仪器厂商(国别):

加拿大 Angstrom Engineering Inc.

仪器原值:

84.093万元

购置日期:

2017.9

仪器主要附件:

系统主腔室配有685l/s的普发Hi-pace 700分子泵

样品台带有加热功能,样品台背面无见光加热,最高可加热到400摄氏度

机组所在部门

联系电话:

7321com必赢

0531-82767046

仪器现状:

正常

开放机时安排:

提前预约

主要技术指标:

系统安装有4RADAK 温控型热蒸发源

蒸发速率自动控制和手动控制同时具备,控制精度:0.01   Å/s;薄膜误差小于5%

可以实现2个有机源之间的共蒸

RADAK的温控范围不小于0-1500 oC,能实现自动温度控制蒸镀功能

应用范围/服务内容:

半导体器件的加工与性能测试方向,有机半导体薄膜的制备

服务技术领域:

纳米材料,微纳器件

 

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